descripción
Aspen 2 - Dual ICP Fabricante : Mattson
Aplicación : Asher / Stripper
Modelo : Aspen 2 ICP
Año : 2001
Tamaño de la oblea : 6" o 8" ( Configurado a petición del cliente)
Detalles Configuración :
1. Plataforma de casete : SMIF
2. Cámara de enfriamiento : Instalada , Nuevo tipo
3. Puerta de hendidura : Nuevo tipo
4. Robot Assy : Estándar, Nuevo tipo
5. Puerta de casete : 18"
6. Generador RF : Adtek X 4
7. Bloque de calor/frío: Calentador , Nuevo tipo con patrón de Ranura Cicular
8. Caja de adaptación de RF : Trazar AMU 10D X 4
9. Gas: 3 gases con STEC MFC
10. Caja de gas : Nuevo tipo
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