descripción
Bomba de vacío seca iXH6045H
Descripción general del producto
La serie de bombas secas iXH está diseñada específicamente para procesos exigentes en la fabricación de semiconductores, pantallas planas y aplicaciones solares. Ofrece un coste de propiedad reducido con un 10% menos de consumo de energía en comparación con los modelos anteriores. La bomba cuenta con un mejor manejo del polvo gracias a la tecnología Gas Buster™, un amplio rango de temperaturas de funcionamiento para minimizar la acumulación de subproductos y una tecnología de sellado mejorada para prolongar la vida útil de la bomba y reducir los riesgos de fugas.
Especificaciones
Modelo: ACHD02123300XS
Tensión: 380-460V
Alto voltaje: 6000V
Módulo de gas: Modo único (44 sL/min de flujo)
Escape: Estándar sin válvula de retención
Juntas: Estándar
Motor de la bomba 11 kW
Motor de refuerzo 7,5 kW
Aplicaciones
Aplicaciones de alta-k y baja-k
Procesos SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN y EPI
CVD, PECVD y MOCVD
Decapado, grabado de óxido, grabado de metal y fuente de implante
Especificaciones técnicas
Dimensiones:
Longitud: 1080 mm
Anchura: 517 mm
Altura: 966 mm
Rendimiento:
Velocidad de bombeo: 5000 - 5200 m³/h
Vacío final: < 5 x 10-³ mbar
Presión máxima de entrada: 1000 mbar
Refrigeración:
Caudal de agua: 12 l/min
Presión de suministro de agua: 6,9 bar (100 psig)
Características principales
Altas velocidades de bombeo de hidrógeno ideales para procesos EPI y solares avanzados
Diseño compacto que ocupa menos espacio para facilitar su integración en las instalaciones de fabricación
Cumple las normas UL, CE y S2
Esta bomba está optimizada para entornos exigentes en los que son cruciales una mayor capacidad de proceso, eficiencia energética y un diseño compacto. Para más detalles y orientación operativa, consulte el manual completo del producto.
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